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紫外的應(yīng)用點(diǎn)紫外成像可以獲得比可見光成像更高的分辨率，能夠量測更小的尺寸及分辨更小的缺陷。廣泛應(yīng)用于晶圓和掩膜版關(guān)鍵尺寸(CD)測量及缺陷分析。（基于瑞利公式對比，基于紫外光和可見光波段相比，基于相同0.9NA物鏡對比）什么是關(guān)鍵尺寸晶圓/掩膜版的CD（關(guān)鍵尺寸），是芯?微結(jié)構(gòu)中...